本标准规定了硅单晶中硼、磷杂质的光致发光测试方法。
标准编号：SJ/T 11494-2015
标准名称：硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法
英文名称：Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
文件格式：PDF
文件页数：10页
文件大小：2.62MB
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