标准编号：GB/T 19922-2005
标准名称：硅片局部平整度非接触式标准测试方法
英文名称：Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2005-09-19
实施日期：2006-04-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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