标准编号：GB/T 19921-2005
标准名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
英文名称：Test method of particles on silicon wafer surfaces
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2005-09-19
实施日期：2006-04-01
标准状态：作废
文件格式：PDF
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标准编号：GB/T 19921-2005
标准名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
英文名称：Test method of particles on silicon wafer surfaces
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2005-09-19
实施日期：2006-04-01
标准状态：作废
文件格式：PDF