标准编号：YS/T 15-2015
标准名称：硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
英文名称：Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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