标准编号：YS/T 14-2015
标准名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
英文名称：Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：YS/T 14-2015
标准名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
英文名称：Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准状态：现行
文件格式：PDF