本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。
标准编号：SJ/T 11552-2015
标准名称：以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
英文名称：Test methods for measurement of interstitial oxygen content of silicon wafers by infrared absorption with P-polarized radiation incident at the Brewster angle
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-10-10
实施日期：2016-04-01
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
文件格式：PDF
文件页数：9页
文件大小：6.35MB
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