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YS/T 28-2015 硅片包装

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发表于 2022-12-27 12:57:30 | 显示全部楼层 |阅读模式
本标准规定了硅片的包装。
本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装,使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
标准编号:YS/T 28-2015
标准名称:硅片包装
英文名称:Package of silicon wafers
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
标准状态:现行
替代情况:替代YS/T 28-1992
起草单位:杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、东莞市华源光电科技有限公司
文件格式:PDF
文件页数:7页
文件大小:252.05KB

标准全文下载:
YST 28-2015 硅片包装.pdf (252.05 KB)

文档首页截图如下:
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