本标准规定了磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。
本标准适用于制备磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉。
标准编号：YS/T 1068-2015
标准名称：制备钌靶用钌粉
英文名称：Ruthenium powder for ruthenium sputttering target
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
起草单位：贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院
文件格式：PDF
文件页数：6页
文件大小：202.63KB
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