本标准规定了集成电路用 铝腐蚀液的技术指标和检测方法。
标准编号：SJ/T 11506-2015
标准名称：集成电路用 铝腐蚀液
英文名称：Aluminum etching solution for Integrated Circuit
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
文件格式：PDF
文件页数：8页
文件大小：2.48MB
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