本标准规定了碳化硅单晶抛光片表面质量的目视检验方法，观察样品表面的六方孔洞、划痕、凹坑、颗粒、沾污、亮点缺陷、裂纹、崩边的数量并用钢板尺测量划痕的总长度等。
标准编号：SJ/T 11504-2015
标准名称：碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
英文名称：Test method for measuring surface quality of polished monocrystalline silicon carbide
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院
文件格式：PDF
文件页数：6页
文件大小：875.56KB
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