本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。
标准编号：SJ/T 11491-2015
标准名称：短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
英文名称：Test methods for measurement of interstitial oxygen content in silicon by short baseline infrared absorption spectrometry
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
文件格式：PDF
文件页数：9页
文件大小：2.07MB
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