GB/T 18867-2014 电子工业用气体六氟化硫

显示全部楼层 · 发表于 2022-12-25 19:25:59

本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。
本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。
分子式：SF6。相对分子质量：146.0564192（按2007年国际相对原子质量计算）。
标准编号：GB/T 18867-2014
标准名称：电子工业用气体六氟化硫
英文名称：Gases for electronic industry—Sulphur hexaflouride
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2014-12-22
实施日期：2015-07-01
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 18867-2002
起草单位：黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司、四川众力氟业有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、光明化工研究设计院、上海基量标准气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、核工业理化工程研究院华核新技术开发公司
起草人员：黄晓磊、牛学坤、赖明贵、傅涛、刘长庆、任清贵、史淑慧、方正、廖恒易、李晓明、曲庆、杨任、常侠、杨遂平、邓建平、方华、周鹏云
文件格式：PDF
文件页数：9页
文件大小：326.84KB

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GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫

GB/T 18867-2014 电子工业用气体六氟化硫