本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
标准编号：JC/T 2243-2014
标准名称：等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
英文名称：Quartz tube covered in film for PECVD
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
起草单位：上海强华石英有限公司、久智光电子材料科技有限公司、上海神舟新能源发展有限公司
文件格式：PDF
文件页数：7页
文件大小：1.58MB
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