本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。
本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
标准编号：HG/T 4509-2013
标准名称：工业高纯氢氟酸
英文名称：High purity hydrofluoric acid for industrial use
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市水创七工有限公司、鹰鹏集团/宣城亨泰化工利技有限公司、浙江蓝苏氟化有限公司贵州省产品质量监督检验院、巨化集团技术中心、山东兴氟新材料有限公司、上海哈勃化学技术有限公司、多氟多化工股份有限公司、中海油天津化工研究设计院、国家无机盐产品质量监督检验中心
文件格式：PDF
文件页数：12页
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