GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

xuzhou2163 · 发表于 2022-11-26 15:32:41

本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。
标准编号：GB/T 16880-1997
标准名称：光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
英文名称：Guidelines for photomask defect classification and size definition
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1997-06-20
实施日期：1998-03-01
标准状态：现行
起草单位：中国科学院微电子中心
起草人员：陈宝钦、陈森锦、廖温初
文件格式：PDF
文件页数：7页
文件大小：324.55KB

标准全文下载：

GBT 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则.pdf (324.55 KB)

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