GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜

xuzhou2163 · 发表于 2022-11-26 09:55:14

本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。
本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜(以下简称铬薄膜)。
标准编号：GB/T 15870-1995
标准名称：硬面光掩模用铬薄膜
英文名称：Chrome thin films for hard surface photomasks
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
标准状态：现行
起草单位：长沙韶光微电子总公司
起草人员：吴保华、王亦林、赵雨生、谈仁良
文件格式：PDF
文件页数：9页
文件大小：327.64KB

标准全文下载：

GBT 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜.pdf (327.64 KB)

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