本标准规定了利用Si（111）晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。
本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜，并且其z向放大倍率达到最大量级，即z向位移在纳米和亚纳米范围内，这是原子力显微镜用于检测半导体表面，光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。
本标准并未指出所有可能的安全问题，在应用本标准之前，使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。
标准编号：GB/T 27760-2011
标准名称：利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
英文名称：Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic steps
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2011-12-30
实施日期：2012-05-01
标准状态：现行
起草单位：国家纳米科学中心
起草人员：朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁
文件格式：PDF
文件页数：13页
文件大小：4.27MB
发表于 2022-12-14 16:19:53
