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GB/T25915的本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组、类)的浓度,对空气分子污染(AMC)进行分级。同时,本部分在分级技术要求中,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数的规程。
本部分目前只考虑洁净室运行工况下100g/m3~10-12g/m3 的AMC浓度。
本部分不涉及那些虽有空气分子物质存在、但不认为对产品或工艺有风险的行业、工艺和生产。
本部分无意探讨空气分子污染物的特性。
本部分不包含对表面分子污染的分级。
标准编号:GB/T 25915.8-2010
标准名称:洁净室及相关受控环境 第8部分:空气分子污染分级
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of airborne molecular contamination
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:2011-01-14
实施日期:2011-06-01
标准状态:现行
起草单位:中国电子工程设计院、北京世源希达工程技术公司、北京希达建设监理有限责任公司等
起草人员:王尧、蔡杰、王大千、张利群、张申元、徐勤、刘卫红、徐小浩、张凯、叶伟强、姚东、秦学礼、吕希洲、刘玥
文件格式:PDF
文件页数:19页
文件大小:6.48MB
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GBT 25915.8-2010.pdf
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