GB/T 16944-2009 电子工业用气体氮

WJH · 发表于 2022-12-7 22:55:53

本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压，化学气相淀积等。
标准编号：GB/T 16944-2009
标准名称：电子工业用气体氮
英文名称：Gas for electronic industry—Nitrogen
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 16944-1997
起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院
起草人员：周泽义、周鹏云
文件格式：PDF
文件页数：8页
文件大小：3.03MB

标准全文下载：

GBT 16944-2009 电子工业用气体氮.pdf (3.03 MB)

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