GB/T 23611-2009 金靶材

WJH · 发表于 2022-12-7 09:35:54

本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单（或合同）内容。
本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材（以下简称金靶材）。
标准编号：GB/T 23611-2009
标准名称：金靶材
英文名称：Gold target
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2009-04-15
实施日期：2010-02-01
标准状态：现行
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司
起草人员：闫琳、江轩、吕保国、熊晓东、尚再艳、杨永刚、杨顺兴、杜连民
文件格式：PDF
文件页数：5页
文件大小：1.53MB

标准全文下载：

GBT 23611-2009 金靶材.pdf (1.53 MB)

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