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T/CCGA 30009-2025 电子级混合气体配制技术要求

mopeter
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团体标准 134 0 2026-1-2 00:18:06
本文件规定了电子级混合气体的配制或制备的基本要求、设备设施要求、技术要求、配制要求,标志、包装及使用要求。
本文件适用于电子级混合气体的配制或制备。

标准编号:T/CCGA 30009-2025
标准名称:电子级混合气体配制技术要求
发布部门:中国工业气体工业协会
发布日期:2025-04-25
实施日期:2025-05-25
文件格式:PDF
文件页数:7页
文件大小:348.00KB

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