本文件描述了氮化铝（AlN）抛光片光吸收系数的测试方法，包括原理、仪器设备、测试条件、样品、测试步骤、结果计算和测试报告。
本文件适用于氮化铝抛光片的光学质量控制和评估。氮化铝外延片可参照使用。
标准编号：T/CASAS 54-2025
标准名称：氮化铝晶片吸收系数测试方法
发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
发布日期：2025-05-20
实施日期：2025-05-20
文件格式：PDF
文件页数：15页
文件大小：526.83KB
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