本文件规定了半导体行业用电子级四(二甲氨基)钛的技术要求、检验规则、包装、标志及随货资料、运输、贮存及安全信息的要求,描述了相应的检测方法。
本文件适用于沉积氮化钛、氧化钛、碳化钛和钛掺杂物等钛基薄膜的电子级四(二甲氨基)钛。
标准编号：GB/T 46178-2025
标准名称：电子级四（二甲氨基）钛
英文名称：Electronic grade tetrakis（dimethylamide）titanium
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2025-10-05
实施日期：2026-05-01
文件格式：PDF
文件页数：16页
文件大小：579.58KB
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