本文件规定了银靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单。
本文件适用于半导体器件用的各类银溅射靶材。其他用途的银靶材参照使用。
标准编号：GB/T 26307-2025
标准名称：银靶材
英文名称：Siver target
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2025-08-29
实施日期：2026-03-01
替代情况：替代GB/T 26307-2010
文件格式：PDF
文件页数：9页
文件大小：274.26KB
标准全文下载：
文档首页截图如下：
 |
声明：
1、内容来自用户上传，仅供会员交流学习，禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除；
2、如涉及侵权问题，请立即告知本站(qbw86@foxmail.com)，本站将及时删除并致以最深的歉意；
