本文件规定了机电电统 Micro-Electro-Mechanical System, 以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器测试项目及方法、测试条件、性能评估指标及判定准则。
本文件适用于MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的测试。
标准编号：T/CSCP 0059.3-2025
标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第3部分：测试方法
发布部门：中国腐蚀与防护学会
发布日期：2025-09-01
实施日期：2025-10-01
文件格式：PDF
文件页数：15页
文件大小：460.00KB
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