本文件规定了用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片(以下简称“氮化镓外延片”)的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于在硅衬底上生长的用于功率电子领域的具有复合结构的氮化镓外延片的研发生产,测试分析及质量评价。
标准编号：T/CASAS 060-2025
标准名称：用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片
发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
发布日期：2025-08-29
实施日期：2025-08-29
文件格式：PDF
文件页数：25页
文件大小：702.43KB
标准全文下载：
文档首页截图如下：
 |
声明：
1、内容来自用户上传，仅供会员交流学习，禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除；
2、如涉及侵权问题，请立即告知本站(qbw86@foxmail.com)，本站将及时删除并致以最深的歉意；
