本文件适用于工作温度范围为-45?℃～320?℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。
标准编号：T/CASME 1953-2025
标准名称：半导体设备用全氟醚橡胶密封制品
英文名称：Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment
发布部门：中国中小商业企业协会
发布日期：2025-03-21
实施日期：2025-04-21
文件格式：PDF
文件页数：11页
文件大小：266.07KB
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