本文件规定了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜（TEM/STEM）测定集成电路芯片中功能薄膜层厚度的方法。
本文件适用于测定几个纳米以上厚度的集成电路芯片中功能薄膜层。
标准编号：GB/T 43748-2024
标准名称：微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
英文名称：Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2024-03-15
实施日期：2024-10-01
起草单位：广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米（苏州）股份有限公司
文件格式：PDF
文件页数：14页
文件大小：1.82MB
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