SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第2 部分：板式 PECVD 设备

taizhou_qy · 发表于 2023-10-18 11:29:38

本文件规定了晶体硅光伏电池用板式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。适用于晶体硅光伏电池用板式 PECVD 设备。
本文件适用于沉积多种薄膜材料，例如，非晶硅（a-Si:H）、微晶硅（μc-Si:H）、二氧化硅（SiO2）、氧化铝（Al2O3）、氮化硅（SiNx）薄膜等本征薄膜以及各种掺杂薄膜材料等，薄膜光伏电池、柔性光
伏电池用 PECVD 设备也可参照使用。
标准编号：SJ/T 11829.2-2022
标准名称：晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第2 部分：板式 PECVD 设备
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2022-09-30
实施日期：2023-01-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
文件页数：17页
文件大小：5.90MB

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SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2 部分：板式 PECVD 设备

SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第2 部分：板式 PECVD 设备