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SJ/T 11451-2022 扩散炉能源消耗规范

taizhou_qy
秀才

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电子行业标准(SJ) 452 0 2023-10-18 11:12:02
本文件规定了扩散炉能源消耗等级指标、可比单耗计算方法和评价规则。
本文件适用于工作温度在 400℃~1350℃的扩散/氧化、退火、
合金工艺使用的扩散炉。
标准编号:SJ/T 11451-2022
标准名称:扩散炉能源消耗规范
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2022-09-30
实施日期:2023-01-01
替代情况:替代SJ/T 11451-2013
文件格式:PDF
文件页数:12页
文件大小:4.10MB

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文档首页截图如下:
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