本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。
本文件中的表面涉及所有表面(外表面、内表面)。
本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度(SCP)和表面化学洁净度的化学物浓度(SCC)洁净度的所需清洁方法，以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。ISO 14644.9和ISO 14644.10给出了清洁技术的适宜率和相关检测方法。
本文件包含以下一般性指南：——表面目标洁净度等级；——清洁方法的适用性；——表面与清洁技术的相容性；——清洁方法适宜度的评估。
本文件不包含以下事项：——清洁方法的分类；——洁净室内生产的产品；——与特定表面相关的具体清洁方法；——各种清洁方法的清洁机制、具体方法和规程的详细说明；——材料特性的详细说明；——清洁工序和清洁时间对表面破坏的机制；——污染物与表面间的黏附力，以及通常与时间和工艺相关的黏附过程；——粒子的其他特性，如静电、离子等；——分子污染物与表面的化学反应；——表面微生物；——放射性污染；——健康、安全；——环境因素，如：废物处理、排放等；——统计方法的选用。
标准编号：GB/T 25915.13-2022
标准名称：洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13:Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-07-01
标准状态：现行
起草单位：深圳市丽风净化工程有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、中电精泰电子工程有限公司、苏州市计量测试院、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司、天津大学、中国电子工程设计院有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国标准化协会、中国建筑科学研究院有限公司、筑安检验检测中心有限公司、广东省洁净技术行业协会、上海市室内环境净化行业协会、中国合格评定国家认可中心、北京中邦兴业科技有限公司、烟台宝源净化有限公司、深圳市吉隆洁净技术有限公司、江汉大学、河南盛川净化工程有限公司、南京工业大学、广东量化检测技术有限公司、安徽同益净化科技有限公司、深圳市朗奥洁净科技技术股份有限公司
起草人员：史苏娟、张秀春、孙玉澄、童广才、李金平、刘俊杰、郝胤博、左中杰、石小雷、冯昕、高正、胡茂从、陈思源、周斌、黄吉辉、韩辉、余小彪、邵森、刘璐、畅金学、温晓辉、杨鹏举、史婷、刘震、张旋、仝娜杰、刘永、杨云涛
文件格式：PDF
文件页数：30页
文件大小：5.19MB
发表于 2023-3-10 17:57:42
