YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定气相色谱质谱联用法

fangchong · 发表于 2023-2-10 10:49:36

本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。
本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围（质量分数）为 0.000 010%～0.10%。
标准编号：YS/T 987-2021
标准名称：氯硅烷中碳含量的测定气相色谱质谱联用法
英文名称：Determination of carbon content in chlorosilane- Gas chromatography-mass spectrometry
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2021-12-02
实施日期：2022-04-01
标准状态：现行
替代情况：替代YS/T 987-2014
起草单位：亚洲硅业（青海）股份有限公司、青海省亚硅硅材料工程技术有限公司、青海芯测科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司
文件格式：PDF
文件页数：8页
文件大小：694.25KB

标准全文下载：

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YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法

YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定气相色谱质谱联用法