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GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮

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发表于 2023-2-8 11:20:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯,或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。
标准编号:GB/T 21287-2021
标准名称:电子特气 三氟化氮
英文名称:Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:2021-10-11
实施日期:2022-05-01
标准状态:现行
替代情况:替代GB/T 21287-2007
起草单位:昊华气体有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、苏州金宏气体股份有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司
起草人员:王娟、付梦月、王少波、孟祥军、傅铸红、陈艳珊、马建修、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、丁高松、裴友宏、韦杰广、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、依俊廷、何波、杨康、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、马昌宁、唐霞梅、李光辉、周鹏云、黄超
文件格式:PDF
文件页数:12页
文件大小:786.77KB

标准全文下载:
GBT 21287-2021 电子特气 三氟化氮.pdf (786.77 KB)

文档首页截图如下:
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