本规范适用于刻线宽度为0.3 μm及以上一维或二维显微标尺的校准。
标准编号：JJF 1917-2021
标准名称：显微标尺校准规范
英文名称：Calibration Specification for Micropattern Standards
发布部门：国家市场监督管理总局
发布日期：2021-07-28
实施日期：2022-01-28
起草单位：山西省计量科学研究院、江苏省计量科学研究院、中国计量科学研究院
起草人员：晏浩、王晓飞、孙双花、薛梓、杨伟敏
文件格式：PDF
文件页数：15页
文件大小：378.23KB
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