T/SHXCL 0004-2021 无纺布/聚氨酯复合抛光垫

oldje · 发表于 2023-2-3 16:09:34

本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫（以下简称抛光垫）的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于抛光垫，用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板，蓝宝石衬底等材料的抛光，还可应用于ITO导电玻璃、玻璃基片、光掩模及LCD面罩、铍、熔融石英、磷化铟、铌酸锂、钽酸锂、不锈钢、钨、膨胀玻璃的抛光。
标准编号：T/SHXCL 0004-2021
标准名称：无纺布/聚氨酯复合抛光垫
英文名称：Nonwovens/polyurethane composite polishing pad
发布部门：上海市新材料协会
发布日期：2021-04-12
实施日期：2021-05-30
标准状态：现行
起草单位：上海映智研磨材料有限公司等
起草人员：张泽芳等
文件格式：PDF
文件页数：9页
文件大小：476.32KB

标准全文下载：

TSHXCL 0004-2021 无纺布聚氨酯复合抛光垫.pdf (476.32 KB)

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T/SHXCL 0004-2021 无纺布/聚氨酯复合抛光垫

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