本标准规定了扩散硅压阻真空计(简称真空计)的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等。
本标准适用于测量压力为（100～1×10^5）Pa的扩散硅压阻真空计。
标准编号：JB/T 10553-2006
标准名称：真空技术 扩散硅压阻真空计
英文名称：Vacuum technology-Piezoresistive silicon chip vacuum gauge
发布部门：国家发展和改革委员会
发布日期：2006-05-06
实施日期：2006-10-01
替代情况：替代J78
起草单位：沈阳真空技术研究所
文件格式：PDF
文件页数：11页
文件大小：316.85KB
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