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SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求

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发表于 2023-1-31 08:47:23 | 显示全部楼层 |阅读模式
本标准规定了半导体设备制造信息标识的术语和定义、设计和原则、使用及相应的综合标签库。半导体设备制造信息标识包括半导体制造设备选择、安装、使用和维护时需要的各种类型的技术和商业信息。信息类型包括操作手册/指南、安装手册、维护手册、维护计划、备件/零部件清单、维修/故障排除手册、发行说明、培训手册等。
标准编号:SJ/T 11762-2020
标准名称:半导体设备制造信息标识要求
英文名称:Requirements for semiconductor equipment manufacturing information tagging
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2020-12-09
实施日期:2021-04-01
标准状态:现行
起草单位:中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、北京京运通科技股份有限公司、中微半导体设备(上海)有限公司、北京京仪自动化装备技术有限公司
文件格式:PDF
文件页数:17页
文件大小:7.58MB

标准全文下载:
SJT 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求.pdf (7.58 MB)

文档首页截图如下:
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