本标准规定了硅单晶及硅单晶片单位产品能源消耗限额的技术要求、统计范围、计算方法及节能降耗导向。
本标准适用于半导体级硅单晶和硅单晶片，包括研磨片、抛光片、外延片（以下统称“硅片”）生产企业产品能源单耗的计算、考核以及对新建项目能源单耗的控制。
标准编号：DB31/ 792-2020
标准名称：硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额
英文名称：The norm of energy consumption per unit products for monocrystalline silicon and silicon wafer
发布部门：上海市市场监督管理局
发布日期：2020-03-05
实施日期：2020-06-01
标准状态：现行
替代情况：替代DB31/ 792-2014
起草单位：上海有色金属行业协会、上海市有色金属标准化技术委员会、上海合晶硅材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、上海新傲科技股份有限公司、上海晶哲电子材料有限公司
起草人员：陈建纲、韩建超、高璇、马志辉、张向东、杨文杰、唐宗平
文件格式：PDF
文件页数：8页
文件大小：246.04KB
发表于 2023-1-24 14:40:03
