GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

s181070 · 发表于 2023-1-6 17:56:19

本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆（以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二极管（LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。
标准编号：GB/T 34177-2017
标准名称：光刻用石英玻璃晶圆
英文名称：Quartz glass wafer for lithography
发布部门：国家质检总局国家标准委
发布日期：2017-09-07
实施日期：2018-08-01
标准状态：现行
起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心
起草人员：吴洁、王京侠、王友军、李弋舟、花宁、刘焕敏、肖颂华、聂兰舰、张浩运、杨晓会、杨学东、孔敏、张应语
文件格式：PDF
文件页数：11页
文件大小：323.70KB

标准全文下载：

GBT 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆.pdf (323.7 KB)

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