本规范规定了PVTSiC76SI1-BPO1型碳化硅单晶抛光片要求、质量保证规定及交货准备等。
本规范适用于PUTSiC76SI1-BPOl型碳化硅单晶抛光片(以下简称碳化硅品片)。
标准编号：SJ 21122-2016
标准名称：PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范
英文名称：Specification for pllished mono-crystallinesilicon carbide wafers of PVTSiC76SI1-BP01
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
文件格式：PDF
文件页数：28页
文件大小：7.80MB
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