本规范规定了氮化铝(AlN)压电薄膜(以下简称压电薄膜)的通用要求、质量保证规定和交货准备等。
本规范适用于层状氮化铝压电薄膜复合材料。
标准编号：SJ 21102-2016
标准名称：氮化铝压电薄膜通用规范
英文名称：General specification for piezoelectric aluminum nitride films
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
起草单位：中国电子利技集团公司第二十六研究所、中国人民解放军空军驻重庆地区军事代表室
文件格式：PDF
文件页数：24页
文件大小：7.50MB
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