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T/QGCML 396-2022 线切割后清洗机

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童生

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发表于 2024-5-14 22:18:57 | 显示全部楼层 |阅读模式
本文件规定了线切割后清洗机的术语和定义、材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输及贮存。
本文件适用于硅片线切割后清洗机(以下简称清洗机)的生产和检验。
标准编号:T/QGCML 396-2022
标准名称:线切割后清洗机
发布部门:全国城市工业品贸易中心联合会
发布日期:2022-10-10
实施日期:2022-10-25
标准状态:现行
起草单位:浙江艾科半导体设备有限公司、天通吉成机器技术有限公司、上海超硅半导体股份有限公司、上海至纯洁净系统科技股份有限公司、竹菱(上海)电子贸易有限公司、科倍氟科技(上海)有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司、基恩士(中国)有限公司、三菱电机自动化(中国)有限公司
起草人员:吴昆、许程超、贾泓超、沈飞、黄杰、陈凯、孙文兵、朱振涛、张春雷
文件格式:PDF
文件页数:8页
文件大小:234.04KB

标准全文下载:
TQGCML 396-2022 线切割后清洗机.pdf (234.04 KB)

文档首页截图如下:
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