SJ/T 11183-2022 旋转式涂覆设备通用规范

zhoujinbin163 · 发表于 2024-2-29 19:47:11

本文件规定了旋转式涂覆设备的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于泛半导体微纳加工光刻工艺制程中的旋转式涂覆设备。
标准编号：SJ/T 11183-2022
标准名称：旋转式涂覆设备通用规范
英文名称：General specification for spin coater
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
标准状态：现行
替代情况：替代SJ/T 11183-1998
起草单位：沈阳芯源微电子设备有限公司、中国电子技术标准化研究院
文件格式：PDF
文件页数：11页
文件大小：4.43MB

标准全文下载：

SJT 11183-2022 旋转式涂覆设备通用规范.pdf (4.43 MB)

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