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JJF(电子) 0096-2023 非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范

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发表于 2024-1-15 17:50:25 | 显示全部楼层 |阅读模式
本规范适用于基于光学镜头和图像分析软件,在测量范 围内通过一次完整成像或图像二次拼接的方法进行测量的图 像尺寸测量仪的校准。图像尺寸测量仪,也称为闪测影像测量仪,是基于图像 摄取技术与图像分析算法,同时集合了一键闪测功能的高智 能高精度测量仪器。设备通过精密光学镜头获取被测件的光 学图像,再通过高精度图像分析算法对信号进行分析运算来达到测量的目的。现多用于复杂零部件的检测。
标准编号:JJF(电子) 0096-2023
标准名称:非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2023-07-28
实施日期:2023-09-01
标准状态:现行
文件格式:PDF
文件页数:20页
文件大小:6.92MB

标准全文下载:
JJF(电子) 0096-2023.pdf (6.92 MB)

文档首页截图如下:
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