标准编号：YS/T 839-2012
标准名称：硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
英文名称：Test method for measurement of insulator thickness and refractive index on silicon substrates by ellipsometry
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2012-11-07
实施日期：2013-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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