标准编号：YS/T 837-2012
标准名称：溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
英文名称：Standard practice for ultrasonic C-sacn bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2012-11-07
实施日期：2013-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
站内资源均来自网友分享或网络收集整理，若无意中侵犯到您的权利，敬请联系我们，我们将及时删除相关资源。