标准编号:GB/T 12964-2003
标准名称:硅单晶抛光片
英文名称:Monocrystalline silicon polished wafers
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布日期:2003-06-16
实施日期:2004-01-01
标准状态:作废
替代标准:GB 12964-1996
文件格式:PDF