标准编号：GB/T 38447-2020
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
英文名称：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2020-03-06
实施日期：2020-07-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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