标准编号：GB/T 16596-2019
标准名称：确定晶片坐标系规范
英文名称：Specification for establishing a wafer coordinate system
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2019-03-25
实施日期：2020-02-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：GB/T 16596-2019
标准名称：确定晶片坐标系规范
英文名称：Specification for establishing a wafer coordinate system
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2019-03-25
实施日期：2020-02-01
标准状态：现行
文件格式：PDF