标准编号：GB/T 37049-2018
标准名称：电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文名称：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-04-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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